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该系统简化了自动化环境中工业显微镜的对焦过程
全球创新的定制化光电解决方案技术领导者埃赛力达科技有限公司(Excelitas Technologies® Corp.)通过增加内置的自动对焦组件来扩展其模块化高性能Qioptiq mag.x system 125光学系统。该自动对焦功能创造了自动化工业显微镜系统,可用于显示器、印制电路板(PCB)、OLED/TFT显示屏、晶圆和玻璃检测,以及机器视觉、半导体和质量控制行业中高精度、非接触式测量应用。
mag.x system 125专为与大型传感器(对角线高达57mm)开发,可在大型物场上实现亚微米级分辨率。其高数值孔径镜头具有超大出射光瞳,可实现无与伦比的光学性能。
mag.x system 125集成的新的模块化自动对焦解决方案简化了自动化环境中的对焦过程。两个执行器可在几分之一秒内实现高精度对焦。AF基座单元将自动对焦传感器的激光耦合到光路中。该自动对焦传感器和执行器组成一个闭环系统,可确保在目标平面上实现最佳对焦。由于不需要拼接缝合,因此可以使用高分辨率传感器来显著缩短操作时间,同时不会影响检查系统的分辨率。
Excelitas应用工程师Ina Neumann表示:“使用超高分辨率显微镜时,精确对焦至关重要。我们的mag.x system 125系统集成的新的自动对焦功能,可在自动化环境下的连续工作流程中提供所需的精度,同时还具有高度的细节准确性。该增强功能是对mag.x system 125产品线功能的成功扩展,我们很荣幸能为客户提供这一功能。”
Excelitas正在计划举办有关正确应用mag.x system 125及其新的自动对焦功能的网络研讨会。请关注Excelitas网站的活动页面https://bit.ly/3cl821f了解最新情况。
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