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由我公司成功研制的50W、150W、300W、500W、1000W射频电源及600W、2000W、5000W国产射频匹配器,广泛适用于等离子体刻蚀、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制作中。射频电源具有体积小、散热性高、可承受驻波比高、操作简单、质量稳定等优势。匹配器功率覆盖范围大(50W-5KW)、匹配时间短(≤3秒)、指示功能全、操作简单,二者均可通过数字接口实施计算机数据采集和控制,轻松实现实时入射功率、反射功率、直流偏压等的精确测量。我公司备有大量样机,供客户测试使用欢迎来电咨询联系! 联系方式:13621233966