MOFET静电击穿万用表测量技巧

几个月前，收到几只客户反馈回来的失效MOSFET，用万用表一测MOSFET体二极管存在，但是MOSFET的栅极和源极之间有阻值，为此感到非常疑惑。把这几只样品发回封装厂开帽，在500倍的显微镜下拍出来的图片看不到任何烧点。猜测是静电击穿，苦与无求证方法。不知道那位大神对功率器件静电击穿，有精辟见解，求指点。