逆阻型IGBT简介
一般情况下,常见的IGBT主要定义的是其正向阻断电压,而反向阻断电压一般不会在Datasheet中被提及到,这是因为IGBT通常会反并联续流二极管,所以对实际应用并没有什么不良影响,除了由于二极管换流造成的反向电压过冲的场合外,IGBT的反向阻断能力不是必需的。但是一些特殊的场合需要IGBT具有双向阻断能力,即正向阻断能力和反向阻断能力。
传统的方式是将常规IGBT与一个可以耐高压的二极管相串联,但是,串联的二极管引起通态压降的增大,增加了损耗。而RB-IGBT是一种新型的IGBT,具有反向耐压能力,相对于传统串联二极管的模式,减少器件的同时,还降低了通态压降和损耗。两种模式如下图所示:
RB-IGBT
传统IGBT串联二极管
常规IGBT反向耐压小的原因:
为了折中通态压降Von和关断损耗Eoff,一般都具有缓冲层以获得更小的Von和Eoff,由于缓冲层和集电极层的掺杂浓度都很高,同时芯片边缘由于晶格损伤和应力会引起较大的漏电流,所以普通IGBT不具备反向阻断能力(一般只有40V左右)。
逆阻型绝缘栅双极型晶体管(RB-IGBT)是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构与耐高压的二极管元胞结构集成到同一个芯片上,采用传统的非穿通型结构,同时在背面和侧面做了改进,具备双向阻断能力。
2
正向耐压和反向耐压
正向耐压:
RB-IGBT除终端结构外和传统的纵向NPT-IGBT基本相同,其有源区在正面,包括多晶硅栅极、n+发射区和p基区,然后有源区的下面是n-漂移区,最后是集电极。当集射极之间加正电压时,由p-基区和n-漂移区形成的反偏PN结来承担外部电压,为了提高击穿电压和抑制闩锁,往往会将发射极的n+源区和p-基区短接。在正向阻断时,为了提高击穿电压和抑制闩锁,一定的终端技术是必要的,比较常见的有两种:在p-基区旁加浮空场环和场板技术,其他的技术还包括结终端扩展、斜角边缘终端技术等。下图是加浮空场环的情况:
虽然方法不同,但都是为了防止电场的局部集中而在终端区域发生雪崩击穿。由于比较厚的n-漂移区和出色的正面终端,使得器件具有很高的正向耐压能力。
反向耐压
NPT-IGBT 结构虽然没有缓冲层,但是它的反向阻断能力依然很差,因为芯片的尺寸是有限的,在切割芯片时,如果切割线穿过了承受高压的pn结,晶格损伤和应力会引起很大的反向漏电流,导致击穿电压和长期稳定性的降低。早期的反向终端采用的是台面刻蚀技术,通过重掺杂(p+)的集电极和低掺杂(n-) 的漂移区形成的pn结和深槽的正斜角来阻断反向电压,这种深沟槽将有晶格损伤的表面隔离,因而没有形成很大的漏电流。总之,RB-IGBT是在NPT-IGBT的基础上,通过特有的终端技术和掺杂技术来,减小漏电流,同时形成反偏的PN结来提高击穿电压,相当于串联了一个耐高压的二极管,使得IGBT具有反向耐压能力。都是利用PN结来隔离晶格损伤的表面。
反向耐压时的一种终端结构(扩散结隔离终端)
常见的RB-IGBT的隔离技术:
①台面刻蚀隔离(物理刻蚀隔离)
②扩散隔离技术(PN结隔离)
③沟槽隔离技术(PN结隔离)
④V(凹)槽隔离技术(PN结隔离)
⑤混合隔离技术(扩散和凹槽刻蚀相结合,PN结隔离)
3
部分电特性
电子辐射减少载流子寿命
RB-IGBT具备双向阻断能力,应用在电路中需要两个器件反向并联,在关断的时候,需要有快恢复二极管的工作方式。由于RB-IGBT采用的是NPT-IGBT结构,所以,n-漂移区的载流子寿命相对较高,工作在FRD关断时,具有很大的dI/dt和较长的拖尾电流,造成较大的损耗,为了克服这个问题,一般需要电子辐照来减小载流子的寿命。虽然增大电子辐射剂量,可以减小关断损耗E(off)和反向恢复损耗E(rec),但是同时增大大通态压降,而造成通态损耗的增加,故需要注意辐照剂量的控制。
栅电压的影响
加栅压和不加栅压下的反向漏电流和击穿电压的对比,可见,加栅压,可以有效地减小反向漏电流,增大反向耐压。
综上,算是简单地介绍了逆阻型IGBT(ReverseBlocking-IGBT)的相关知识,没有很详细,毕竟对于任何一个元器,可以从很多方面来认识,只有在实践中才能慢慢地理解和体会。目前,很多会用到RB-IGBT,主要有矩阵变换器、中点箝位拓扑和T型变换器等。目前英飞凌、富士、三菱都有自己地RB-IGBT的产品,大家有兴趣可以去了解下。希望今天的"谈资"你们会喜欢,可以的话,多帮忙推广下,谢谢!