因为本人对这方面不懂,想请教各位一些比较菜的问题,先说一下情况
所在的实验室,是做功能材料的生长,比如在硅片上长薄膜材料,生长时需要对硅片进行加热,
硅片是放在钼托盘上,托盘是旋转的。现在是采用电阻丝加热的方式,老师想改成感应加热的方式。
基本的要求都在下面的图里,不知道这些要求容易达到不?能不能直接购买到符合要求的成品设备,还是需要定做?
谢谢您的关注,
这个没有严格的时间要求,半个小时内能达到都可以。
我们并不要求快。
而且目前温度能到800度已经够用了。
请联系13583213318 我可以帮你搞定
我以前做这类设备是用碘钨灯做衬底加热的 做淀积 刻蚀 溅射之用的
这个要求用感应加热可以实现 电压是不能太高 高了会打火