国内半导体器件经过多年的研究学习,目前国内半导体设计公司逐步学会了部分产品的技术,产品也陆续推向市场。
VDMOS,已经在2007年左右实现国产化,目前已经占有不少国内市场份额,
IGBT NPT planner工艺产品已经杀的及其血腥,基本没有利润可言了。
CoolMOS这两年也在国内陆续国产化,分为Trench CoolMOS和 Multi-EPI CoolMOS,两种工艺,
领军公司:
Multi-EPI CoolMOS 工艺 : 英飞凌 FC
Trench CoolMOS 工艺: Toshiba
国内同样也拥有两种工艺产品
目前主要是
Multi-EPI CoolMOS 工艺:超致半导体
Trench CoolMOS 工艺:华虹平台公司(NCE,龙腾。。。。。。。)
但是CoolMOS之间也是有差异的,有时候DC参数看是比较接近,实际使用过程中同样会遇到不同的问题。
•Multi-EPI工艺
该工艺也是开发最早,做成熟的工艺,英飞凌一直采用该工艺生产其CoolMOS,后续跟上的还有ST,FC, Super Semi(超致半导体)
•Deep-Trench工艺
•该工艺是通过另外一种相对简单的工艺来实现超结的一种手段。目前主要有Toshiba,华虹平台。